CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號(hào)補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號(hào)補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。
CS300氣體質(zhì)量流量控制器優(yōu)勢：
• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間*快≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對(duì)前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
技術(shù)參數(shù)
CS300 | ||||||||
型號(hào) | CS310C | CS320C | CS310D | CS320D | ||||
閥類型 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 | 常開或常閉 | 無 |
流量規(guī)格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |||||||
準(zhǔn)確度 |
| |||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |||||||
響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa | 0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
溫度系數(shù) | 零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)：≤±0.05% F.S./℃ | |||||||
耐壓 | 3.5 MPa | |||||||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||||||
密封材料 | 金屬密封 | |||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||
工作環(huán)境溫度 | （0～50）℃ | |||||||
輸入信號(hào) | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | 無 |
輸出信號(hào) | 數(shù)字：RS485 或 DeviceNet | |||||||
零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年 | |||||||
電源 | ±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極) | |||||||
表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃） | - | ||||||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | VCR1/4陽接頭； | 1.5″B型密封接頭 | ||||
電源接頭形式 | D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭 | |||||||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
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